金融界2025年3月25日动静，上海芯东来半导体科技无限公司申请一项名为“一种传动机构及光刻机”的专利，公开号CN 119668052 A，本申请供给了一种传动机构及光刻机，属于光刻机手艺范畴。本申请中的传动机构通过正在其传输径上设置可以或许发出声波的第一支持单位以及可以或许发出光波的第二支持单位，从而可以或许使得动子正在挪动过程中不取导轨间接接触。